Влияние подслоя германия на процессы перколяции в ультратонких пленках меди и их оптические коэффициенты

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

Исследованы оптические коэффициенты пленок меди толщиной 1…16 нм, выращенных на подслое германия, напыленного на поверхность подложек из кварцевого стекла толщиной 4 мм. Измерения выполнены в прямоугольном волноводе сечением 23 × 10 мм2 в диапазоне частот 8.5…12.5 ГГц. В диапазоне толщин 2…16 нм обнаружено плавное изменение оптических коэффициентов пленок меди, выращенных на германиевом подслое. Установлено, что перколяционная толщина медных пленок, выращенных на подслое германия, заключена в диапазоне между 1 и 2 нм. Обнаружен сильный размерный эффект в пленках, выращенных на Ge-подслое, обусловленный рассеянием электронов проводимости преимущественно на межкристаллитных границах. Установлено, что коэффициент отражения электронов от межкристаллитных границ в пленках с Ge-подслоем более чем в три раза превосходит аналогичный коэффициент в пленках, выращенных непосредственно на подложке.

Об авторах

В. А. Вдовин

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Автор, ответственный за переписку.
Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

В. Г. Андреев

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

И. И. Пятайкин

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

Ю. В. Пинаев

Институт радиотехники и электроники им. В. А. Котельникова РАН

Email: vdv@cplire.ru
Россия, ул. Моховая, 11, корп. 7, Москва, 125009

Список литературы

  1. Каплан А. Е. // РЭ. 1964. Т. 9. № 10. С. 1781.
  2. Kaplan A. E. // J. Optical Soc.Am. B. 2018. V. 35. № 6. P. 1328. doi: 10.1364/JOSAB.35.001328
  3. Khorin I., Orlikovsky N., Rogozhin A. et al. // Proc. SPIE. 2016. V. 10224. Р. 1022407–1. doi: 10.1117/12.2266504
  4. Fuchs K. // Mathematical Proc. Cambridge Philosophical Soc. 1938. V. 34. № 1. P. 100. doi: 10.1017/S0305004100019952
  5. Dingle R. B. // Proc. Royal Soc. A. 1950. V. 201. № 1067. P. 545. doi: 10.1098/rspa.1950.0077
  6. Sondheimer E. H. // Adv. Phys. 1952. V. 1. № 1. P. 1. doi: 10.1080/00018735200101151
  7. Mayadas A. F., Shatzkes M., Janak J. F. // Appl. Phys. Lett. 1969. V. 14. № 11. P. 345. doi: 10.1063/1.1652680
  8. Mayadas A. F., Shatzkes M. // Phys. Rev. B. 1970. V. 1. № 4. P. 1382. doi: 10.1103/PhysRevB.1.1382
  9. Camacho J. M., Oliva A. I. // Thin Solid Films. 2006. V. 515. P. 1881. doi: 10.1016/j.tsf.2006.07.024
  10. Андреев В. Г., Вдовин В. А., Глазунов П. С. и др. // Оптика и спектроскопия. 2022. Т. 130. № 9. С. 1410. doi: 10.21883/OS.2022.09.53304.3539–22
  11. Barmak K., Darbal A., Ganesh K. J. et al. // J. Vacuum Sci. Technol. A. 2014. V. 32. № 6. P. 061503–1. doi: 10.1116/1.4894453
  12. Вдовин В. А., Андреев В. Г., Глазунов П. С. и др. // Оптика и спектроскопия. 2019. Т. 127. № 5. С. 834. doi: 10.21883/OS.2019.11.48524.132–19

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Российская академия наук, 2024